SEMI

SEMIガイドラインに基づく
半導体製造装置の安全性評価をサポートします。 

半導体製造装置は、ユーザーの要求により環境/健康/安全に関する国際半導体製造装置材料協会(SEMI)が定める安全ガイドライン(SEMI Sシリーズ)による安全性評価が必要です。
イーエス技研は、半導体製造装置専門のコンサルティング会社とも協業し、自己宣言から認証機関による認証取得レベルの評価まで、幅広くサポートしております。
 

SEMI S2

環境、健康、安全に関するガイドライン

SEMI S8

人間工学的評価のガイドライン

SEMI S14

防火に関するガイドライン

SEMI F47

電圧降下に対する影響 など