SEMIガイドラインに基づく
半導体製造装置の安全性評価をサポートします。
半導体製造装置は、ユーザーの要求により環境/健康/安全に関する国際半導体製造装置材料協会（SEMI）が定める安全ガイドライン（SEMI Sシリーズ）による安全性評価が必要です。
イーエス技研は、半導体製造装置専門のコンサルティング会社とも協業し、自己宣言から認証機関による認証取得レベルの評価まで、幅広くサポートしております。
| SEMI S2 | 環境、健康、安全に関するガイドライン |
|---|---|
| SEMI S8 | 人間工学的評価のガイドライン |
| SEMI S14 | 防火に関するガイドライン |
| SEMI F47 | 電圧降下に対する影響 など |
