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SEMIガイドラインに基づく
半導体製造装置の自己宣言をサポートします。

 

 
半導体製造装置は、ユーザーの要求により環境/健康/安全に関する国際半導体製造装置材料協会(SEMI)が定める安全ガイドライン(SEMI Sシリーズ)による安全性評価が必要です。
イーエス技研は、SEMI S2およびSEMI S8への適合性を自己宣言していただけるようになるまで、サポート実績が多数あります。
 

SEMI S2

環境、健康、安全に関するガイドライン

SEMI S8

人間工学的評価のガイドライン